설명
자동물류에서 OHT의 역할은 공정을 수행하는 것이 아니라 캐리어를 필요한 위치로 전달하는 것이다.
예시
/디스패칭 지시에 따라 OHT가 을 에서 꺼내 로 옮길 수 있다.
관련 용어: 풉· 운반용 밀폐 캐리어 / / 자동 캐리어 저장장치 / 장비 로드 포트
생산 현장에서 작업 진행, 자재, 이력 등을 관리하는 제조 실행 시스템입니다.
용어 상세 ↗300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.
용어 상세 ↗FOUP 같은 캐리어를 자동으로 보관하고 필요할 때 AMHS에 다시 인계하는 팹 물류 저장 설비.
용어 상세 ↗FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 공정/계측 장비에 올려놓고 장비와 캐리어를 인계하는 표준화된 물리적 접점.
용어 상세 ↗여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗FOUP 등 웨이퍼 캐리어를 팹 내부에서 자동으로 저장·이동·인계하도록 구성한 물류 시스템 전체.
용어 상세 ↗구분
OHT는 물류 장치이고 공정 장비는 에 실제 공정을 수행하는 장비다.
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗