원자층 식각
Atomic layer etching
ALE원자층식각
원자층 식각인 ALE는 과 제거 단계를 나누어 제한된 양의 재료를 반복적으로 제거하는 접근이다.
설명
자기제한성이 확보되는 범위에서 제거량과 손상을 정밀하게 제어할 수 있다. 한 사이클이 언제나 정확히 원자 한 층을 제거한다는 뜻은 아니다.
예시
사이클 수에 따른 두께 감소뿐 아니라 각 반응 단계의 포화와 기판 손상을 확인한다.
구분
이름보다 자기제한성이 성립하는 실험 범위를 본다.