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파티클 오염

Particle contamination

팩별 설명

파티클 오염은 표면에 부착한 미세 입자가 패턴이나 막 형성을 방해하는 상태다.

설명

입자는 마스크처럼 남아 식각 잔사를 만들거나 배선 사이를 연결할 수 있다. 영향은 입자 크기만 아니라 위치와 재료에 따라 달라진다.

넓은 비활성 영역의 입자와 좁은 배선 간격의 같은 입자를 동일 위험으로 취급하지 않는다.

총 개수에 더해 크기·좌표·공정 단계와 전기적 민감도를 연결한다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.