화면을 준비하고 있습니다.

보잉

Bowing

보잉은 식각한 구조의 측벽이 중간 깊이에서 바깥쪽으로 불룩해지는 형상이다.

설명

측벽 보호 부족·이온 산란·국부 반응 차이 등이 원인 후보가 된다. 상부와 바닥 만 측정하면 중간의 최대 폭을 놓칠 수 있다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

상부 합격인데 인접 구조 간 절연 여유가 줄었다면 중간 단면도 확인한다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

형상 이상은 깊이 방향 전체 프로파일로 판단한다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

화학 기상 증착인 CVD는 기체 전구체의 반응으로 기판에 고체막을 형성하는 방법이다.

스핀 코팅은 기판 회전으로 용액을 펼치고 용매를 증발시켜 막을 형성하는 방법이다.