배리어막
Barrier layer
배리어막은 금속 등이 인접 재료로 원치 않게 이동하거나 반응하는 것을 억제하는 막이다.
설명
금속 배선에서는 얇고 연속적인 보호 기능이 중요하다. 두꺼우면 공간과 저항 측면에서 불리할 수 있어 막질·연속성·두께를 함께 관리한다.
예시
평균 두께가 맞아도 국소적으로 끊긴 부분은 보호 기능을 약하게 만들 수 있다. 두께 합격만으로 계면 신뢰성을 완전히 보증하지 않는다.
구분
배리어의 목적은 공간을 채우는 것이 아니라 재료 경계를 지키는 것이다.