배치 로딩 효과
Batch loading effect
배치 로딩 효과는 웨이퍼 수·간격·위치가 열과 반응물 분포를 바꾸는 현상이다.
설명
보트 내 위치에 따라 가열 응답과 전구체 소모가 달라질 수 있다. 빈 슬롯이나 더미 웨이퍼 배치도 열용량과 유동 조건에 영향을 준다.
예시
서로 다른 로딩 패턴의 데이터를 정비 전후 비교로 섞으면 장비 변화와 로딩 효과가 혼동된다. 위치별 모니터와 투입 조건을 기록한다.
구분
배치 공정의 레시피 조건에는 로딩 구성도 포함된다.