열충격과 열응력
Thermal shock and stress
열응력은 온도차나 재료 간 열팽창 차이로 생기는 응력이며, 급격한 변화는 파손·변형 위험을 높일 수 있다.
설명
승온을 빠르게 하면 은 줄일 수 있지만 공간·두께 방향 온도차가 커질 수 있다. 막과 기판의 팽창 차이도 휨에 영향을 준다.
예시
처리량만을 위해 상승·냉각을 단축하지 않는다. 허용 온도 구배와 재료 스택의 기계적 안정성을 함께 검증한다.
구분
빠른 열처리는 확산 억제와 기계적 안정성 사이에서 설계한다.