설명
빔 형상, 이동 속도와 경로를 조절해 면내 를 관리한다. 총 주입량이 맞아도 특정 위치에 치우치면 균일한 특성을 얻기 어렵다.
도즈는 단위 면적에 주입한 이온의 수량으로, 보통 ions/cm² 같은 단위로 나타낸다.
용어 상세 ↗예시
중앙과 가장자리의 결과가 다르면 빔 균일도와 스캔 이력을 함께 본다. 총 누적값만으로 위치별 까지 확인할 수는 없다.
도즈는 단위 면적에 주입한 이온의 수량으로, 보통 ions/cm² 같은 단위로 나타낸다.
용어 상세 ↗구분
얼마나 넣었는지와 어디에 분배했는지를 함께 관리한다.