도즈
Implant dose
주입량
도즈는 단위 면적에 주입한 의 수량으로, 보통 ions/cm² 같은 단위로 나타낸다.
설명
빔 전류를 시간에 대해 누적하고 전하 상태·면적 등을 고려해 관리한다. 빔 전류는 순간 공급 속도에 해당하므로 도즈와 같은 값이 아니다.
예시
같은 전류라도 노출 시간이 달라지면 누적 주입량이 달라진다. 반대로 목표 도즈가 같으면 빔 조건에 따라 필요한 처리 시간이 달라질 수 있다.
구분
순간 속도와 누적 총량을 구분하면 전류와 도즈를 혼동하지 않는다.