명시야 검사
Bright-field inspection
명시야
명시야 검사는 주로 정반사 성분을 포함한 밝은 배경 영상의 차이로 이상을 찾는 광학 방식이다.
설명
패턴 형상과 반사 변화의 비교에 활용된다. 장비 구성에 따라 여러 파장과 검출 모드를 조합하므로 한 모드가 모든 결함에 최적인 것은 아니다.
예시
정상 패턴과 달리 일부 선이 끊기거나 재료 반사가 달라지면 차이 신호가 생길 수 있다. 같은 위치를 상세 리뷰하여 형태를 확인한다.
구분
밝은 영상의 차이를 구조적 이상 후보로 연결한다.