암시야 검사
Dark-field inspection
암시야
암시야 검사는 직접적인 정반사광을 억제하고 산란된 빛을 주로 이용해 이상을 찾는 광학 방식이다.
설명
입자와 표면 변화가 만든 산란을 포착할 수 있다. 정상 패턴이나 거친 표면의 산란도 함께 증가할 수 있어 배경 분리가 중요하다.
예시
표면 입자에는 강한 신호가 나더라도 복잡한 패턴 위에서는 배경 산란에 가려질 수 있다. 검사 대상 층에 맞는 조건을 선택한다.
구분
산란이 강하다는 사실만으로 결함 재질과 치명도를 확정하지 않는다.