정전용량식 진공계
Capacitance diaphragm gauge
정전용량식 진공계는 압력에 따른 막의 변형을 정전용량 변화로 읽는 압력 센서다.
설명
기체의 열전도도나 이온화 특성을 이용하지 않아 원리상 기체 종류 의존성이 작다. 하지만 온도, 영점, 부착물과 사용 범위의 영향까지 없어지는 것은 아니다.
예시
센서 교체 후 읽음값이 달라지면 범위와 영점· 상태를 확인한다. 새 센서라는 사실만으로 기존 센서보다 언제나 정확하다고 단정하지 않는다.
구분
가스 비의존성과 무오차는 같은 뜻이 아니다.