피라니 진공계
Pirani gauge
피라니 진공계는 가열 소자에서 기체로 빠져나가는 열의 변화를 이용해 압력을 추정하는 센서다.
설명
기체의 열전도 특성에 영향을 받으므로 가스 종류가 바뀌면 같은 실제 압력에서 표시가 달라질 수 있다. 주로 적합한 저·중진공 범위에서 사용한다.
예시
질소 기준으로 읽는 장치에 다른 가스가 들어오면 제조사 보정 조건을 확인한다. 정전용량식 센서와 표시가 다르다는 이유만으로 한쪽 고장으로 결론내리지 않는다.
구분
측정 원리가 무엇에 민감한지 알아야 표시 차이를 해석할 수 있다.