세정 선택성
Cleaning selectivity
세정 선택성은 제거하려는 물질을 없애면서 보존할 재료의 손실을 억제하는 상대적 성능이다.
설명
잔사를 더 잘 없애는 조건이 금속 부식이나 절연막 손실을 키울 수 있다. 평탄한 시험막의 결과가 미세 구조의 결과를 그대로 대표하지 않는다.
예시
같은 처리에서 잔류물은 줄고 미세선 단선은 늘었다면 제거율만으로 개선이라고 결론 내리지 않는다.
구분
잔류량·재료 손실·형상 변화를 같은 조건에서 비교한다.