구리 전해도금
Copper electroplating
ECD
구리 전해도금은 전기화학 반응으로 구리를 석출하여 배선이나 전극을 형성하는 공정이다.
설명
에서는 내부를 빈틈없이 채우는 것이 중요하다. 형상과 시드 상태, 전해액과 전류 조건이 성장 형태에 영향을 준다.
예시
입구가 먼저 막히면 내부에 빈 공간이 남을 수 있다. 평균 도금 두께만으로 깊은 구멍 안의 충전 상태를 판단하지 않는다.
구분
충전 공정은 금속의 양뿐 아니라 어디에서 어떻게 자랐는지 관리한다.