CD-SEM
Critical dimension SEM
-SEM은 전자 영상을 이용해 선폭 등 핵심 치수를 측정하도록 구성된 계측 방식이다.
설명
어느 경계를 치수로 정의할지와 영상 처리 알고리즘이 결과에 영향을 준다. 서로 다른 측정법의 값을 비교할 때 경계 정의를 확인한다.
예시
같은 패턴도 상부 폭과 중간 높이의 폭이 다를 수 있다. 위에서 본 하나로 전체 단면 형상을 알 수는 없다.
구분
측정 숫자는 어떤 단면과 경계를 뜻하는지 함께 읽는다.