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에너지 분산형 X선 분석

Energy-dispersive X-ray spectroscopy

EDSEDX

팩별 설명

에너지 분산형 X선 분석인 EDS 또는 EDX는 시료에서 발생한 특성 X선을 이용해 원소 성분을 분석하는 방법이다.

설명

입자의 재료 후보를 좁힐 수 있지만 부피와 주변 재료의 신호가 섞인다. 특정 원소 검출만으로 오염 발생 장비를 확정할 수 없다.

상호작용

상호작용은 한 인자의 효과가 다른 인자의 수준에 따라 달라지는 현상이다.

입자에서 철 성분이 검출되면 관련 접촉 부품이나 원료와 비교할 수 있다. 지지체나 시료 준비에서 섞인 신호인지도 확인한다.

성분 정보는 출처를 추적하는 단서이지 출처 자체는 아니다.

상호작용은 한 인자의 효과가 다른 인자의 수준에 따라 달라지는 현상이다.

로트는 제조와 추적을 위해 함께 관리하는 웨이퍼나 제품의 묶음이다.

유효 다이 수는 미리 정한 규칙에 따라 수율 계산 대상으로 삼는 다이의 개수다.