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임계 두께

Critical thickness

임계 두께는 주어진 재료계에서 변형된 층이 결함 등을 통해 응력을 완화하기 쉬워지는 두께 범위를 설명하는 개념이다.

설명

·온도·성장 이력·모델에 의존하며 모든 구조에 통용되는 고정값은 아니다. 실제 준안정 상태도 존재할 수 있다.

격자 불일치

격자 불일치는 기판과 성장층이 자연 상태에서 갖는 결정 주기의 차이다.

평탄 시험막의 허용 두께를 좁은 선택 성장 구조에 그대로 적용하지 않고 별도 확인한다.

모델 기준과 실제 결함 발생 기준을 구분한다.

격자 불일치는 기판과 성장층이 자연 상태에서 갖는 결정 주기의 차이다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.