용어검색/반도체선택적 에피택시Selective epitaxy팩별 설명반도체 공정 L1반도체 공정 L2선택적 에피택시는 노출된 특정 결정 표면에서 우선 성장하고 주변 마스크 표면의 성장을 억제하는 방법이다.정의 복사관련 학습 ↓설명성장과 식각·탈착의 균형, 표면 오염, 노출 면적이 선택성과 성장률에 영향을 준다. 두께를 늘리면 비성장 영역 핵생성이 늘 수도 있다.예시활성 영역의 두께가 맞아도 절연막 위 결정 입자가 생기면 선택성 문제가 남는다.구분성장 영역의 품질과 비성장 영역의 청정도를 동시에 검사한다.함께 배우는 용어표면 준비↗표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.금속 오염↗금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.계면 상태↗계면 상태는 반도체와 절연막의 경계에 존재하여 전하를 포획·방출할 수 있는 전자적 상태다.이전 용어← 임계 두께다음 용어결정 면과 패싯 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개