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다중 구역 열제어

Multi-zone thermal control

다중 구역 열제어는 웨이퍼의 중심·가장자리 등 구역별 열전달이나 가열을 조절하는 방식이다.

설명

구역이 나뉘어도 열은 옆으로 흐르므로 한 구역의 조정이 이웃에 영향을 준다. 가스·척 구조·냉각 경로에 따른 결합을 파악해야 한다.

가장자리 결과를 맞추려 중심까지 크게 흔드는 조정은 국부 보정의 이득을 줄인다. 구역별 를 확인하고 전체 맵의 규격을 함께 본다.

민감도

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

구역별 손잡이를 독립 변수로 가정하지 말고 결합 지도를 만든다.

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

핵심 공정 변수는 변동이 품질 특성에 유의한 영향을 줄 수 있어 관리하는 공정 입력이나 상태 변수다.

가스 처리량 Q는 일정 기준에서 압력과 체적유량의 곱으로 표현하는 가스 이동량이다.