결함검사
Defect Inspection
에서 정상 과 다른 , 잔류물, 긁힘, bridge, 빈 공간 등의 후보를 찾아 위치와 크기를 기록하는 검사.
설명
결함검사는 학습과 제어에서 을 찾기 위한 첫 데이터가 된다.
예시
광학 검사에서 이전 정상 웨이퍼와 다른 신호 위치를 후보로 검출한다. 관련 용어: /
구분
결함검사는 존재와 위치를 찾는 것이고 결함 검토는 발견된 결함을 더 자세히 이미징·분류하는 단계다.
Defect Inspection
에서 정상 과 다른 , 잔류물, 긁힘, bridge, 빈 공간 등의 후보를 찾아 위치와 크기를 기록하는 검사.
결함검사는 학습과 제어에서 을 찾기 위한 첫 데이터가 된다.
광학 검사에서 이전 정상 웨이퍼와 다른 신호 위치를 후보로 검출한다. 관련 용어: /
결함검사는 존재와 위치를 찾는 것이고 결함 검토는 발견된 결함을 더 자세히 이미징·분류하는 단계다.