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노광량

Exposure dose

팩별 설명

노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.

설명

감광막 반응과 결과를 바꾸며 최종 의 변화 방향은 레지스트 톤과 패턴 정의에 따라 달라진다. 모든 구조에서 노광량 증가가 선폭 감소를 뜻하지 않는다.

현상

현상은 감광 반응으로 생긴 용해도 차이를 이용해 선택된 레지스트 영역을 제거하는 과정이다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

선 패턴과 구멍 패턴을 같은 방향으로 보정하기 전에 각각의 반응 곡선을 확인한다.

노광량과 치수의 관계는 제품·층·패턴별로 정의한다.

현상은 감광 반응으로 생긴 용해도 차이를 이용해 선택된 레지스트 영역을 제거하는 과정이다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.