다이 내부 좌표
Die-local coordinates
내부 좌표는 특정 다이의 기준점을 원점으로 하여 그 안의 위치를 표현한 좌표다.
설명
같은 회로 위치에서 반복되는 결함을 찾을 때 유용하다. 전체 좌표로 흩어져 있던 점들이 내부 좌표에서는 한 위치로 겹칠 수 있다.
예시
각 의 동일한 코너에 결함이 반복되면 설계 패턴이나 반복 노광과 관련된 가능성을 살핀다. 좌표 반복만으로 발생 원인까지 확정하지는 않는다.
구분
반복 패턴을 볼 때는 내부 기준으로 위치를 다시 비교한다.