계측 타깃
Metrology target
계측 타깃은 원하는 특성을 측정하기 좋도록 별도로 설계한 구조이다.
설명
실제 소자보다 규칙적인 패턴과 넓은 영역을 제공할 수 있다. 그러나 주변 밀도나 형상이 다르면 타깃과 소자가 공정에 똑같이 반응하지 않을 수 있다.
예시
규칙적 격자의 선폭이 안정적이어도 고립된 소자 패턴의 폭은 다를 수 있다. 타깃 수치를 소자 성능으로 연결하려면 대응 관계를 확인한다.
구분
측정하기 쉬운 구조가 실제 소자를 항상 완전히 대표하지는 않는다.