웨이퍼 좌표계
Wafer coordinate system
좌표계는 원점과 축 방향을 정해 웨이퍼 위의 위치를 표현하는 기준이다.
설명
방향 표식과 앞면·뒷면 관찰 방향을 어떻게 해석하는지에 따라 좌표가 회전하거나 반전될 수 있다. 장비끼리 좌표 규칙을 맞춰야 재탐색할 수 있다.
예시
검사에서 오른쪽 위에 있던 결함이 리뷰 화면의 왼쪽 위에 나타나면 좌우 반전 규칙을 확인한다. 즉시 결함이 이동했다고 결론 내리지 않는다.
구분
좌표값과 원점·축·방향 표식의 규칙을 함께 전달한다.