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다이 간 비교

Die-to-die comparison

팩별 설명

다이 간 비교는 반복된 회로의 대응 위치를 비교해 차이를 찾는 방법이다.

설명

같아야 할 두 위치의 차이를 후보로 삼는다. 비교 대상에도 같은 결함이 반복되면 차이가 작아져 놓칠 가능성이 있다.

여러 다이에 동일하게 전사된 마스크 기인 결함은 이웃 다이와 비슷하게 보일 수 있다. 다른 기준이나 분석이 보완 수단이다.

반복성

반복성은 같은 조건에서 같은 대상을 반복 측정할 때 결과가 서로 가까운 정도다.

비교 기준에 공유된 이상은 차이 검사에서 숨어 있을 수 있다.

반복성은 같은 조건에서 같은 대상을 반복 측정할 때 결과가 서로 가까운 정도다.

수율은 정해진 평가 대상 중 정해진 합격 기준을 만족한 대상의 비율이다.

특성 불량은 회로가 일부 동작하더라도 전류·저항·속도 같은 수치가 규격을 벗어난 상태다.