직접 절연체 접합
Direct dielectric bonding
직접 절연체 접합은 접합 가능한 상태로 준비한 절연 표면끼리 맞대어 결합하는 방식이다.
설명
청정도와 , 평탄도가 중요하며 후속 열처리가 결합을 강화하는 데 활용될 수 있다. 접착제를 두껍게 넣는 방식과 다르다.
예시
표면에 작은 입자가 끼면 주변까지 충분히 맞닿지 않을 수 있다. 평균 청정도뿐 아니라 접합면의 국소 결함도 중요하다.
구분
직접 접합의 출발점은 서로 밀착할 수 있는 표면이다.