표면 활성화
Surface activation
표면 활성화는 접합이 잘 일어나도록 표면의 화학적 상태를 조정하는 처리다.
설명
플라즈마 등의 방법을 사용할 수 있으며 세정과 연결해 수행한다. 처리 후 보관 시간과 주변 환경이 준비된 표면 상태에 영향을 줄 수 있다.
예시
활성화 장비를 거쳤다는 이력만으로 접합 직전 표면을 보증하지 않는다. 재오염과 대기 시간도 관리해야 한다.
구분
접합 준비의 효과는 처리 순간부터 실제 접촉 순간까지 유지되어야 한다.