전자빔 선량
Electron-beam dose
전자빔 선량은 정해진 영역에 조사된 전하량을 면적 등으로 정규화하여 나타내는 조사량이다.
설명
체류 시간과 반복 주사 등이 누적 조사에 영향을 준다. 일부 레지스트는 조사로 변형되거나 수축할 수 있어 반복 측정이 원래 시료를 바꿀 수 있다.
예시
첫 측정과 열 번째 측정의 폭이 다르면 시간 드리프트뿐 아니라 조사 이력도 확인한다. 더 오래 측정하는 것이 항상 더 좋은 기준값을 주지는 않는다.
구분
측정 횟수와 선량 이력을 시료 상태의 일부로 기록한다.