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에피택시 메모리 효과

Epitaxial memory effect

에피택시 메모리 효과는 이전 공정의 잔류 성분이나 가 다음 성장에 영향을 주는 현상이다.

챔버 상태

챔버 상태는 벽면·잔류 성분·소모품·열 상태 등 공정 반응에 영향을 주는 내부 환경의 조합이다.

설명

벽에 남은 종·가스 경로·세정 이력에 따라 초기 조성이나 도핑이 달라질 수 있다. 같은 레시피라도 직전 처리 이력이 중요하다.

특정 제품 뒤의 첫 웨이퍼만 다르면 처리 순서와 안정화 이력을 비교한다.

레시피 이름뿐 아니라 챔버의 직전 상태를 추적한다.

챔버 상태는 벽면·잔류 성분·소모품·열 상태 등 공정 반응에 영향을 주는 내부 환경의 조합이다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.