EFEM
Equipment Front End Module
EFEM은 장비 전면에서 캐리어와 내부 장비 사이의 이송 및 국소 청정 환경을 담당하는 모듈이다.
설명
대기 로봇과 정렬기 등이 포함될 수 있으며, 청정 공기 흐름이나 질소 환경으로 노출을 관리한다. EFEM 자체를 공정 반응 챔버와 동일시하지 않는다.
예시
전면 공간이 깨끗해도 로봇 접촉부나 뒷면이 오염원이 될 수 있다. 공기 청정도와 접촉 청정도를 따로 보아야 한다.
구분
EFEM은 단순한 빈 공간이 아니라 이송과 환경 관리가 결합된 구간이다.