식각 종점 검출
Etch Endpoint Detection
Endpoint Detection
목표 층 제거가 끝나는 시점을 센서 신호나 공정 반응으로 판단해 을 적절한 때에 멈추도록 하는 방법.
설명
불충분한 과 과도한 식각을 줄이기 위해 종점을 안정적으로 잡는 것이 중요하다.
예시
공정 중 신호 변화로 대상 층이 거의 제거된 시점을 감지하고 본 종료를 판단한다. 관련 용어:
구분
종점은 종료 시점 판단이고 는 재료 제거 속도다.
Etch Endpoint Detection
Endpoint Detection
목표 층 제거가 끝나는 시점을 센서 신호나 공정 반응으로 판단해 을 적절한 때에 멈추도록 하는 방법.
불충분한 과 과도한 식각을 줄이기 위해 종점을 안정적으로 잡는 것이 중요하다.
공정 중 신호 변화로 대상 층이 거의 제거된 시점을 감지하고 본 종료를 판단한다. 관련 용어:
종점은 종료 시점 판단이고 는 재료 제거 속도다.