노광량과 레지스트 반응
Exposure dose and resist response
노광량
노광량은 단위 면적에 전달된 광에너지이며, 레지스트 반응을 통해 현상 후 패턴에 영향을 준다.
설명
입사량뿐 아니라 흡수·레지스트 조성·후속 열처리가 유효 반응을 바꾼다. 같은 노광량이라도 막두께나 베이크 상태가 다르면 와 프로파일이 달라질 수 있다.
예시
노광기 출력 이상과 트랙의 열·재료 이상을 분리해 본다. 패턴 종류와 레지스트 톤에 따라 변화 방향도 달라질 수 있다.
구분
노광량 설정과 최종 패턴의 반응량을 동일시하지 않는다.