검출 지연과 제어 지연
Detection and actuation latency
검출·제어 지연은 실제 변화가 생긴 뒤 센서 처리와 장비 동작이 반영되기까지의 시간이다.
설명
필터·샘플링·통신·레시피 전환·가스 전달이 각각 지연을 더할 수 있다. 검출 시각이 같아도 실제 반응 종료 시각은 다를 수 있다.
예시
짧은 정밀 식각에서는 지연의 평균뿐 아니라 반복 변동도 중요하다. 타임스탬프와 단계 전환 신호를 맞춰 비교한다.
구분
종말점 정확도는 센서만 아니라 반응을 멈추는 전체 경로의 성능이다.