스테이지·레벨링 결합
Stage and leveling coupling
레벨링
스테이지·레벨링 결합은 위치 이동과 표면 높이 추종이 노광 중 함께 품질에 영향을 주는 관계다.
설명
가속·진동·센서 지연·열변형은 정적인 위치 점검에서는 보이지 않다가 스캔 중 나타날 수 있다. 정적 정확도와 동적 추종 성능은 다르다.
예시
특정 스캔 방향이나 속도에서만 이상이 생기면 동적 조건과 진동 이력을 비교한다. 생산 속도를 임의 변경하지 않고 승인된 진단 조건을 사용한다.
구분
멈춰 있을 때 정확한 장비가 움직일 때도 같은 성능을 낸다고 가정하지 않는다.