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초점·노광량 행렬

Focus-exposure matrix

FEM

초점· 행렬인 FEM은 초점과 노광량을 여러 조합으로 바꾸어 패턴의 허용 영역을 찾는 실험이다.

노광량

노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.

설명

두 변수를 한 번에 하나씩만 보면 조합에 따른 실패 경계를 놓칠 수 있다. 뿐 아니라 브리지·단절·형상도 함께 평가한다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

한 조합이 목표 와 가장 가까워도 주변 조건에서 쉽게 무너지면 생산 중심점으로 불리할 수 있다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

최고 한 점보다 재현 가능한 합격 영역을 선택한다.

노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.