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보센 곡선

Bossung curve

보센 곡선은 정한 에서 초점 변화에 따른 등의 응답을 나타낸 곡선이다.

노광량

노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

설명

여러 의 곡선을 겹치면 초점 민감도와 노광량 민감도를 함께 볼 수 있다. 특정 를 만족하는 초점점이 여러 개일 수도 있다.

노광량

노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

중심 는 같지만 초점 변화에 훨씬 민감한 조건은 높이 변동에 약할 수 있다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

중심값뿐 아니라 곡선의 기울기와 허용 구간을 비교한다.

노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.