오버레이
Overlay
오버레이는 서로 다른 패턴 층 사이의 상대적 위치 오차다.
설명
웨이퍼·레티클 정렬, 스테이지, 열변형, 이전 공정의 웨이퍼 변형 등이 영향을 준다. CD가 맞더라도 층 간 위치가 어긋날 수 있다.
예시
오버레이와 를 하나의 패턴 품질 수치로 합치지 않는다. 이동·회전·배율·고차 성분을 구분해 공간 형태와 가능한 원인을 연결한다.
구분
패턴의 크기와 다른 층에 대한 위치를 별도로 관리한다.
Overlay
오버레이는 서로 다른 패턴 층 사이의 상대적 위치 오차다.
웨이퍼·레티클 정렬, 스테이지, 열변형, 이전 공정의 웨이퍼 변형 등이 영향을 준다. CD가 맞더라도 층 간 위치가 어긋날 수 있다.
오버레이와 를 하나의 패턴 품질 수치로 합치지 않는다. 이동·회전·배율·고차 성분을 구분해 공간 형태와 가능한 원인을 연결한다.
패턴의 크기와 다른 층에 대한 위치를 별도로 관리한다.