면내 균일도
Within-wafer uniformity
면내 균일도는 한 의 여러 위치에서 측정한 공정 결과가 얼마나 고르게 분포하는지를 나타낸다.
설명
중앙과 가장자리의 가스 공급, 온도, 조건 차이가 공간적 차이를 만들 수 있다. 균일도 수치는 사용한 계산식과 측정 위치에 따라 달라진다.
예시
평균 두께가 같아도 한 는 전체가 고르고 다른 웨이퍼는 중앙만 두꺼울 수 있다. 평균과 위치별 지도를 함께 보아야 한다.
구분
평균값 하나로 전체를 대표시키지 않는다.