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반복성

Repeatability

팩별 설명

반복성은 같은 방법과 조건으로 짧은 기간에 반복했을 때 결과가 서로 가까운 정도다.

설명

장비의 간 막 두께가 거의 같아도 목표 두께에서 모두 벗어나면 반복성은 좋고 목표 정확도는 나쁠 수 있다. 두 특성은 별도로 평가한다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

목표가 100 nm인 가상 공정에서 110, 110, 111 nm가 나오면 값의 산포는 작지만 목표와 차이가 있다. 보정 문제를 산포 문제와 혼동하지 않는다.

서로 비슷한가와 목표에 맞는가는 다른 질문이다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.