입자
Particle
공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 을 막거나 을 만들 수 있다.
설명
과 질문에서 입자는 대표적인 물리적 오염원으로 이해하면 된다.
예시
표면에 입자가 남으면 이후 포토·· 결과에 국부적인 을 만들 수 있다. 관련 용어: / 결함 / /
구분
입자는 오염원의 한 종류이고 은 입자·금속·유기물 등 더 넓은 오염 개념이다.
Particle
공기·액체·표면에 존재하는 미세 고형 또는 액상 입자. 미세공정에서는 작은 입자도 을 막거나 을 만들 수 있다.
과 질문에서 입자는 대표적인 물리적 오염원으로 이해하면 된다.
표면에 입자가 남으면 이후 포토·· 결과에 국부적인 을 만들 수 있다. 관련 용어: / 결함 / /
입자는 오염원의 한 종류이고 은 입자·금속·유기물 등 더 넓은 오염 개념이다.