용어검색/반도체열 예산Thermal budget팩별 설명반도체 용어 L1반도체 공정 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 장비 L2열 예산은 공정 전체의 온도·시간 이력이 확산·반응·재료 안정성에 허용하는 누적 영향의 범위다.정의 복사관련 학습 ↓설명같은 시간이라도 온도가 다르면 반응량이 크게 달라질 수 있다. 여러 공정의 가열을 따로 보지 않고 이미 형성된 구조에 누적시킨다.예시선행 접합이 형성된 뒤 추가한 증착 베이크도 접합 확산에 기여할 수 있다.구분최종 단계뿐 아니라 전체 열 이력의 순서를 관리한다.함께 배우는 용어공정 윈도우↗공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.금속 오염↗금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.유기 잔류물↗유기 잔류물은 레지스트나 공정 보조물질에서 유래해 제거되지 않은 탄소계 물질이다.이전 용어← 어닐링다음 용어아레니우스 관계 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개