용어검색/반도체어닐링Annealing팩별 설명반도체 용어 L1반도체 공정 L1반도체 장비 L1반도체 패키징·HBM L1반도체 공정 L2어닐링은 가열과 냉각 이력을 통해 결함·활성화·응력·상태 등을 조절하는 열처리다.정의 복사관련 학습 ↓설명서로 다른 반응의 속도가 온도에 다르게 의존하므로 한 특성의 개선이 다른 특성의 변화와 동반될 수 있다.예시활성화가 좋아져도 접합이 깊어지거나 인접막 반응이 증가하면 통합 관점의 적합성을 다시 본다.구분열처리의 목표 반응과 억제해야 할 반응을 함께 정한다.함께 배우는 용어공정 윈도우↗공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.금속 오염↗금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.유기 잔류물↗유기 잔류물은 레지스트나 공정 보조물질에서 유래해 제거되지 않은 탄소계 물질이다.이전 용어← 주입 손상다음 용어열 예산 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개