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유기 잔류물

Organic residue

팩별 설명

유기 잔류물은 레지스트나 공정 보조물질에서 유래해 제거되지 않은 탄소계 물질이다.

설명

얇은 잔류물도 젖음성과 박막 핵생성을 바꿀 수 있다. 로 제거하는 과정은 노출된 저유전막이나 민감한 표면도 변화시킬 수 있다.

플라즈마

플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.

레지스트 제거율만 높이는 조건을 고르지 말고 아래 재료의 표면 손상과 후속 막의 접착을 확인한다.

제거 성능과 보호해야 할 재료의 보존을 함께 판단한다.

플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.