열예산
Thermal budget
열예산은 재료가 경험한 시간·온도 이력이 확산·반응·활성화에 미치는 누적 영향을 나타내는 개념이다.
설명
반응 속도가 온도에 비선형적으로 의존하므로 최고 온도와 유지 시간만으로 모든 공정을 비교할 수 없다. 상승·유지·냉각 중의 기여가 다르다.
예시
같은 최고 온도라도 램프 상승시간과 냉각 꼬리가 달라지면 접합 확산이나 막 특성이 달라질 수 있다. 서로 다른 메커니즘에 하나의 등가시간을 무조건 적용하지 않는다.
구분
열공정은 최고점 하나가 아니라 온도 곡선과 반응의 조합이다.