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표면 반응 지배

Surface-reaction-limited growth

팩별 설명

표면 반응 지배는 전구체 공급보다 표면에서의 반응 속도가 성장을 제한하는 상태다.

설명

이 구간에서는 온도 변화가 성장률에 크게 작용할 수 있다. 공급을 더 늘려도 반응이 병목이면 효과가 작다.

유량 변화에는 둔감하고 온도 변화에 민감한 증착 결과는 이 구간의 가능성을 보여 주지만 다른 조건도 함께 확인한다.

속도 변화의 민감도를 이용해 병목 가설을 세운다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.