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물질 수송 지배

Mass-transport-limited growth

팩별 설명

물질 수송 지배는 반응 표면까지 전구체를 전달하는 속도가 성장을 제한하는 상태다.

설명

표면이 빠르게 반응하면 공급 분포·유동·고갈이 두께 분포에 영향을 준다. 온도를 높이는 것만으로 병목이 해결되지 않을 수 있다.

온도 보정 후 평균은 변하지 않고 입구·출구 두께 차이가 유지되면 공급과 유동 경로를 조사한다.

막의 공간 분포와 변수 민감도를 함께 사용한다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.