용어검색/반도체PVDPhysical vapor deposition물리기상증착팩별 설명반도체 용어 L1반도체 공정 L1반도체 장비 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 장비 L2PVD는 증발·스퍼터링 등 물리적 방법으로 원자를 방출시켜 기판에 막을 만드는 증착 방식이다.스퍼터링스퍼터링은 입자 충돌로 타깃 표면의 원자를 방출시켜 기판에 막을 형성하는 물리적 증착 방식이다.용어 상세 ↗정의 복사관련 학습 ↓설명방출 원자의 수송과 입사 방향이 피복과 막질에 영향을 준다.함께 배우는 용어스퍼터링↗스퍼터링은 입자 충돌로 타깃 표면의 원자를 방출시켜 기판에 막을 형성하는 물리적 증착 방식이다.질량유량 제어기↗질량유량 제어기인 MFC는 유량 센서와 제어 밸브를 이용해 설정된 질량유량을 유지하는 장치다.방사율↗방사율은 같은 온도의 이상적인 흑체와 비교한 실제 표면의 열복사 방출 정도다.이전 용어← 챔버 매칭반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개