사이클당 성장량
Growth per cycle
GPC
사이클당 성장량인 GPC는 정한 조건에서 한 사이클에 증가하는 평균 막 두께다.
설명
안정 성장 구간에서는 두께를 GPC와 사이클 수의 곱으로 근사한다. 초기 이 있으면 단순 비례가 성립하지 않는다.
예시
가상 안정 구간의 GPC가 0.10 nm이고 80사이클을 추가하면 추가 두께는 약 8 nm다. 초기막 두께는 별도로 더한다.
구분
일정 GPC 근사는 확인한 안정 성장 구간 안에서 사용한다.