펄스와 퍼지
Pulse and purge
펄스는 반응물을 공급하는 구간이고 퍼지는 남은 기체와 부산물을 제거하여 다음 반응과 분리하는 구간이다.
설명
퍼지가 부족하면 서로 분리되어야 할 반응물이 겹쳐 기상 반응이나 성분을 만들 수 있다. 시간이 길다고 모든 정체 공간이 즉시 비워지는 것은 아니다.
예시
성장량과 파티클이 함께 증가했다면 사이클 수보다 반응물 분리와 배기 상태를 확인한다.
구분
퍼지는 대기 시간이 아니라 반응 경로를 분리하는 기능이다.